凈化型4寸勻膠機旋涂儀廣泛用于半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜等，例如對大型晶圓、芯片、晶片等進行工藝制版時，可用此凈化型勻膠機進行各種膠體的表面涂覆或光刻工藝勻膠；是集成電路及半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中涂覆勻膠的專用設(shè)備。該設(shè)備中涂膠部分含有兩個工位的勻膠臺，可分別獨立工作，也可兩臺同時工作。

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品牌	CYKY

凈化型4寸勻膠機旋涂儀特點：

1、帶有100級空氣凈化裝置，可有效除去勻膠臺周圍空氣中的污染微塵，防止勻膠過程中的雜質(zhì)污染。

2、設(shè)置有LED照明燈，可程控照明，非常方便日常操作。

3、可設(shè)置時間--轉(zhuǎn)速曲線，程序控制勻膠工藝。

4、7英寸液晶顯示屏，操作簡單易學(xué)無需專業(yè)學(xué)習(xí)。

5、采用無刷伺服電機，電機設(shè)計避免光刻膠等污染物進入電機內(nèi)部。

6、機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼、生銹，便于清洗。

7、排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位計于載片臺之底部 (以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性)。

8、透明可視，耐化學(xué)腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業(yè)時隔絕光阻的溢出有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。

9、前面板設(shè)置有電動玻璃屏升降按鈕，可電動升降前擋玻璃板。

凈化型4寸勻膠機旋涂儀主要技術(shù)參數(shù)：

勻膠時間	1-99秒
勻膠轉(zhuǎn)數(shù)	0-8000轉(zhuǎn)/分
操作區(qū)風(fēng)速	0.3-0.5米/秒(有效操作區(qū)氣流狀態(tài)：垂直層流()適用于φ8mm-φ100mm晶體硅片及其它材料等勻膠
凈化效果	100級（美國聯(lián)邦標準）
外形尺寸	650x750x1620mm
外體顏色	亞白色
控制范圍和精度	轉(zhuǎn)速控制范圍為：500-8000轉(zhuǎn)，精度為±3%
時間控制范圍為	1-99秒，精度為±5%
轉(zhuǎn)速調(diào)整	采用PID調(diào)節(jié)，精度高
轉(zhuǎn)速查看智能化	可自動識別哪個電機開或關(guān)，自動轉(zhuǎn)換到開啟的電機上?？捎柘冗x定，也可在運行中隨時查看任一電機的轉(zhuǎn)速

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