3靶緊湊型磁控濺射鍍膜儀是一種三頭1“射頻等離子體磁控濺射系統(tǒng)，設(shè)計用于非金屬薄膜涂層，主要用于多層氧化物薄膜。緊湊型磁控濺射鍍膜儀是研究新一代氧化薄膜*具成本效益的涂膜機?？筛鶕?jù)金屬薄膜沉積要求選擇直流磁控濺射，可配置3個直流、1個射頻/ 2個直流和2個射頻/ 1個直流濺射頭。

產(chǎn)品型號：CY-MSH325-III-DCDCRF-SS
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時間：2025-11-17
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詳細介紹

品牌	CYKY	價格區(qū)間	10萬-30萬
產(chǎn)地類別	國產(chǎn)	應(yīng)用領(lǐng)域	電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件

3靶緊湊型磁控濺射鍍膜儀是一種三頭1"射頻等離子體磁控濺射系統(tǒng)，設(shè)計用于非金屬薄膜涂層，主要用于多層氧化物薄膜。緊湊型磁控濺射鍍膜儀是研究新一代氧化薄膜*具成本效益的涂膜機?？筛鶕?jù)金屬薄膜沉積要求選擇直流磁控濺射，可配置3個直流、1個射頻/ 2個直流和2個射頻/ 1個直流濺射頭。

緊湊型磁控濺射鍍膜儀應(yīng)用領(lǐng)域：

這款緊湊型3靶磁控濺射鍍膜機專為在氧化物單晶基板上涂覆氧化物薄膜而設(shè)計，通常不需要高真空設(shè)置。

3靶緊湊型磁控濺射鍍膜儀技術(shù)規(guī)格：

項目		明細
產(chǎn)品型號		CY-MSH325-III-DCDCRF-SS
供電電壓		AC220V，50Hz
整機功率		4KW
系統(tǒng)真空		≦5×10^-4Pa
樣品臺	外形尺寸	φ140mm
	加熱溫度	≦500℃
	控溫精度	±1℃
	可調(diào)轉(zhuǎn)速	≦20rpm
磁控靶槍	靶材尺寸	直徑Φ50.8mm，厚度≦3mm
	冷卻模式	循環(huán)水冷
	水流大小	不小于10L/Min
真空腔體	腔體尺寸	直徑φ325mm，高度500mm
	腔體材質(zhì)	SUU304不銹鋼
	觀察窗口	直徑φ100mm
	開啟方式	頂開式
氣體控制		1路質(zhì)量流量計用于控制Ar流量，量程為:200SCCM
真空系統(tǒng)		配分子泵系統(tǒng)1套，氣體抽速600L/S
膜厚測量		可選配石英晶體膜厚儀，分辨率0.10 ?
濺射電源		直流電源500W*2,射頻電源500W
控制系統(tǒng)		CYKY自研專業(yè)級控制系統(tǒng)
設(shè)備尺寸		600mm × 650mm × 1280mm
設(shè)備重量		350kg

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