該設備以電子束蒸發(fā)方式鍍膜設備，主要用于制備各種導電薄膜、半導體薄膜、鐵電薄膜、光學薄膜，微納器件微加工，電鏡樣品預處理等，尤其適用蒸鍍各種難熔金屬材料。電子束蒸發(fā)鍍膜儀不僅可用于玻璃片、硅片等硬質襯底，也可用用于PDMS、PTFE、PI等柔性襯底上鍍膜。

產(chǎn)品分類CLASSIFICATION

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詳細介紹

品牌	CYKY	價格區(qū)間	1-5萬
產(chǎn)地類別	國產(chǎn)	應用領域	電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件

該設備以電子束蒸發(fā)方式鍍膜設備，主要用于制備各種導電薄膜、半導體薄膜、鐵電薄膜、光學薄膜，微納器件微加工，電鏡樣品預處理等，尤其適用蒸鍍各種難熔金屬材料。電子束蒸發(fā)鍍膜儀不僅可用于玻璃片、硅片等硬質襯底，也可用用于PDMS、PTFE、PI等柔性襯底上鍍膜。

電子束蒸發(fā)鍍膜儀設備技術參數(shù)：

使用條件	環(huán)境溫度5℃～40℃ 電源：三相380 V,功率：≤20 KW，水壓：≤2.5bar
真空室尺寸	蒸發(fā)室尺寸：φ500×H500(㎜)
電子槍	新型電子槍1套，6穴坩堝
樣品轉盤	樣品尺寸：≤φ150mm，樣品可旋轉，也可上下升降調節(jié)樣品到電子槍距離(樣品托形狀按用戶要求設計),加熱溫度≤500℃
系統(tǒng)真空度	極限真空	經(jīng)12～24小時烘烤，連續(xù)抽氣≤5x10-5Pa
	抽氣速率	從大氣開始40分鐘內真空度≤5x10-4Pa
	系統(tǒng)漏率	整機漏率≤1×10-8Pa.L/s 停泵關機12小時后，測量真空室真空度≤10Pa
抽真空系統(tǒng)	FB1200分子泵+機械泵(TRP-36)系統(tǒng)，并設置旁路抽氣
鍍膜監(jiān)測	采用SQM160膜厚儀進行監(jiān)測
鍍膜厚度	鍍膜厚度的不均勻度≤6%

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