產(chǎn)品名稱

卷對卷式PECVD

產(chǎn)品型號

CY-OTF-1200X-III-PE300-RR

1000W等離子源

● 輸出功率：50-1000W*大可調(diào)±1%
 ● RF頻率： 13.56MHz，穩(wěn)定性±0.005%
 ● 噪聲：≤55DB
 ● 冷卻：風(fēng)冷
 ● 輸入功率：1KW  AC 220V

三路質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)

● 電壓：AC220V/50Hz
 ● 功率：23W
 ● PLC觸摸屏控制
 ● 混氣罐尺寸：φ80*120mm
 ● 工作溫度：5~45℃
 ● *大壓力: 3x106 Pa
 ● 精度: ±1.5% FS
 ● 線性: ±（0.5-1.5）%F.S.
 ● 重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
 ● 流量范圍:
 ● 一路: 1~50 SCCM （甲烷標(biāo)定）
 ● 二路: 1~200 SCCM （氫氣標(biāo)定）
 ● 三路: 1~200 SCCM （氬氣標(biāo)定）
 氣體種類標(biāo)定根據(jù)客戶要求可以進(jìn)行其它選擇

真空測量單元

● 型號：PCG-800
 ● 顯示范圍：3.8E-5 to 1125 Torr
 精度：
 ● 5×10-4 … 1×10-3 mbar (N2) % of reading ±50
 ● 1×10-3 … 100 mbar (N2) % of reading ±15
 ● 100 … 950 mbar % of reading ±5
 ● 950 … 1050 mbar % of reading ±2.5

低真空機(jī)組（標(biāo)配）

● 由雙旋機(jī)械泵、雙層立式油霧過濾器（PE材質(zhì)）、電阻真空計以及連接管道接頭等組成
 ● 真空泵抽氣速率≥4.4L/s
 ● 極限真空度10-1Pa
 ● 真空計測量范圍10-1Pa-105 Pa

卷對卷銅箔收放密封裝置

● 采用卷對卷收放卷機(jī)構(gòu)進(jìn)行銅箔的移動進(jìn)出料，銅箔的移動速度為1-400mm/min可調(diào)；
 ● 配置一卷測試銅箔

● 收放卷機(jī)構(gòu)別放置于管式爐兩端真空腔體內(nèi)，保證銅箔可在密封生長條件下進(jìn)行運(yùn)動，實現(xiàn)大規(guī)模制備   。
 ● 收卷機(jī)構(gòu)與管式爐之間設(shè)置冷卻裝置用于銅箔的快速冷卻。

產(chǎn)品尺寸

大約2400*800*1250mm

產(chǎn)品重量

大約720kg

質(zhì)量認(rèn)證

電器元件可選擇通過CE認(rèn)證

保修期

一年保修，終身技術(shù)支持。
 特別提示：
 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。
 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。