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耐腐蝕柜式勻膠機旋涂儀采用全PP耐腐蝕全柜式設(shè)計，滿足工業(yè)級別手動勻膠需求，配備自動點膠功能確保了勻膠和點膠過程中的重復(fù)性。耐腐蝕柜式勻膠機適用于半導(dǎo)體、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃及制版等表面涂覆工藝

大功率程控伺服勻膠機旋涂儀是一種小型、靈活和經(jīng)濟(jì)的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備，它可以實現(xiàn)在價值百萬美元的設(shè)備上才可能達(dá)到的穩(wěn)定性和均勻性，大功率程控伺服勻膠機能夠處理12寸以內(nèi)的圓晶基片。

加熱型勻膠機旋涂儀主要利用離心涂覆原理將液態(tài)或膠體材料涂覆在硅片、晶體、石英、陶瓷等基片上形成薄膜，該工藝在材料研究領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用

這款小型勻膠機旋涂儀是我公司的一款結(jié)構(gòu)緊湊，體積小巧的微型勻膠機，可以涂膠處理小碎片至4英寸圓晶尺寸底物，使用工業(yè)級直流馬達(dá)和單片機控制。這款小巧型勻膠機簡單易用，可多步程操作，易于放入手套箱內(nèi)操作。

此款精密半導(dǎo)體旋涂儀勻膠機共有兩種型號：CY-AC200-SE是標(biāo)準(zhǔn)型號，CY-AC200-PE是**型號；CY-AC200精密勻膠機是一種小型、靈活和經(jīng)濟(jì)的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備，這是一種程控伺服型精密勻膠機，可以實現(xiàn)價值百萬美元設(shè)備上才能達(dá)到的穩(wěn)定性和均勻性。

凈化型4寸勻膠機旋涂儀廣泛用于半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜等，例如對大型晶圓、芯片、晶片等進(jìn)行工藝制版時，可用此凈化型勻膠機進(jìn)行各種膠體的表面涂覆或光刻工藝勻膠；是集成電路及半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中涂覆勻膠的專用設(shè)備 。該設(shè)備中涂膠部分含有兩個工位的勻膠臺，可分別獨立工作，也可兩臺同時工作。