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產(chǎn)品分類(lèi)CLASSIFICATION
耐腐蝕柜式勻膠機(jī)旋涂?jī)x采用全PP耐腐蝕全柜式設(shè)計(jì),滿(mǎn)足工業(yè)級(jí)別手動(dòng)勻膠需求,配備自動(dòng)點(diǎn)膠功能確保了勻膠和點(diǎn)膠過(guò)程中的重復(fù)性。耐腐蝕柜式勻膠機(jī)適用于半導(dǎo)體、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃及制版等表面涂覆工藝
大功率程控伺服勻膠機(jī)旋涂?jī)x是一種小型、靈活和經(jīng)濟(jì)的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備,它可以實(shí)現(xiàn)在價(jià)值百萬(wàn)美元的設(shè)備上才可能達(dá)到的穩(wěn)定性和均勻性,大功率程控伺服勻膠機(jī)能夠處理12寸以?xún)?nèi)的圓晶基片。
加熱型勻膠機(jī)旋涂?jī)x主要利用離心涂覆原理將液態(tài)或膠體材料涂覆在硅片、晶體、石英、陶瓷等基片上形成薄膜,該工藝在材料研究領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用
這款小型勻膠機(jī)旋涂?jī)x是我公司的一款結(jié)構(gòu)緊湊,體積小巧的微型勻膠機(jī),可以涂膠處理小碎片至4英寸圓晶尺寸底物,使用工業(yè)級(jí)直流馬達(dá)和單片機(jī)控制。這款小巧型勻膠機(jī)簡(jiǎn)單易用,可多步程操作,易于放入手套箱內(nèi)操作。
此款精密半導(dǎo)體旋涂?jī)x勻膠機(jī)共有兩種型號(hào):CY-AC200-SE是標(biāo)準(zhǔn)型號(hào),CY-AC200-PE是**型號(hào);CY-AC200精密勻膠機(jī)是一種小型、靈活和經(jīng)濟(jì)的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備,這是一種程控伺服型精密勻膠機(jī),可以實(shí)現(xiàn)價(jià)值百萬(wàn)美元設(shè)備上才能達(dá)到的穩(wěn)定性和均勻性。
凈化型4寸勻膠機(jī)旋涂?jī)x廣泛用于半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜等,例如對(duì)大型晶圓、芯片、晶片等進(jìn)行工藝制版時(shí),可用此凈化型勻膠機(jī)進(jìn)行各種膠體的表面涂覆或光刻工藝勻膠;是集成電路及半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過(guò)程中涂覆勻膠的專(zhuān)用設(shè)備 。該設(shè)備中涂膠部分含有兩個(gè)工位的勻膠臺(tái),可分別獨(dú)立工作,也可兩臺(tái)同時(shí)工作。
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