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1200℃三溫區(qū)3路質(zhì)量供氣高真空CVD系統(tǒng)由三溫區(qū)管式爐、三路質(zhì)量流量計(jì)和高真空分子泵組組成。管式爐三個(gè)溫區(qū)分別由精密控溫儀表獨(dú)立控溫，通過調(diào)節(jié)各個(gè)溫區(qū)的溫度，該管式爐可以在加熱區(qū)內(nèi)形成三段溫度梯度或是形成較長(zhǎng)的恒溫區(qū)域。每個(gè)溫區(qū)均可編輯30段升降溫程序，同時(shí)有過熱和斷偶保護(hù)功能。

1500℃單溫區(qū)3路質(zhì)量流量計(jì)高真空CVD系統(tǒng)由1500℃單溫區(qū)管式爐、三路質(zhì)量流量計(jì)和高真空分子泵組組成。管式爐由精密控溫儀表進(jìn)行PID控溫，可編輯30段升降溫程序，同時(shí)有過熱和斷偶保護(hù)功能。爐管兩側(cè)法蘭配有數(shù)字式真空計(jì)和機(jī)械式壓力表，可以用來控制爐管內(nèi)的氣氛環(huán)境。采用高清真彩觸控屏操作，簡(jiǎn)單易上手，即使是非專業(yè)人員經(jīng)過簡(jiǎn)單的培訓(xùn)也可以熟練掌握儀器的使用方法，能夠極大的提高您的實(shí)驗(yàn)效率。

1200℃雙溫區(qū)三路氣體高真空CVD氣相沉積系統(tǒng)，真空度可達(dá)6.67x10-6Pa），兩個(gè)溫區(qū)獨(dú)立控制加熱，實(shí)驗(yàn)操作更加方便。超高溫加熱元件，額定工作溫度可達(dá)1150℃。 主要用于真空燒結(jié)、氣氛保護(hù)性燒結(jié)、真空鍍膜、各種材料鍛燒、需要溫度梯度的各種CVD實(shí)驗(yàn)。 該產(chǎn)品造型優(yōu)美、做工精細(xì)，測(cè)溫精準(zhǔn)、控溫穩(wěn)定。

1600三溫區(qū)CVD氣相沉積系統(tǒng)主要用于真空燒結(jié)、氣氛保護(hù)性燒結(jié)、真空鍍膜 各種材料煅燒、需要溫度梯度的各種CVD實(shí)驗(yàn)